과학기술정보통신부(장관 배경훈)는 8월 6일 DB하이텍 상우캠퍼스(충북 음성군)에서 'DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식'을 열고, 반도체 기업의 유휴장비를 공공나노팹이 이어받아 활용하는 민·관 협력 모델을 본격화했다.
이번 협약은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등 반도체 3사가 체결한 업무협약(MOU)의 후속 조치다. DB하이텍은 자사 8인치 파운드리 생산라인에서 사용하던 첨단 중고장비를 나노종합기술원과 나노융합기술원에 무상으로 넘기기로 했다.
구혁채 과기정통부 제1차관은 협약식에서 "DB하이텍의 선도적인 중고장비 이전은 민과 관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만들어낸 모범적인 상생 협력 모델"이라고 평가했다.
이전되는 장비는 두 가지다.
나노종합기술원에는 8인치 고온 열처리 증착장비(LPCVD Horizontal Furnace)가 들어간다. 이 장비는 초소형 정밀 부품(MEMS)과 각종 센서의 구조막을 얇고 균일하게 입히는 데 활용된다.
20년 넘은 노후 장비를 교체해 작업 안전성을 높이고, 1회 가동당 생산 처리량을 25개에서 50개로 두 배 늘릴 수 있을 것으로 기대된다.
나노융합기술원에는 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비(HF Etcher & FDTS coating)가 배치된다. 이 장비는 차세대 피지컬 AI용 미세 센서 부품의 하부 받침막을 기체 가스로 깎아내 공중에 띄우고, 부품끼리 들러붙지 않도록 방수 보호막을 입히는 역할을 한다.
기존 공정보다 초미세·초박막 부품을 손상 없이 깔끔하게 분리할 수 있어 공정 단계를 줄이고 품질과 완성도를 높일 것으로 보인다.
과기정통부는 올해부터 총 750억 원 규모의 '모아팹 중고장비 활용 지원사업'(2026~2033년)을 본격 추진한다. 이 사업을 통해 모아팹(MoaFab) 플랫폼에 참여하는 공공나노팹들이 기업 유휴장비를 이전받아 구축하는 비용을 지원받게 된다.
모아팹은 전국 공공나노팹을 연계하는 플랫폼으로, 앞으로 참여 기관을 지속 확대해 전국적인 공동 활용 체계를 구축할 계획이다.
협약식 후에는 팸투어가 진행돼 구 차관과 참석자들이 DB하이텍 상우캠퍼스의 8인치 파운드리 생산라인을 둘러봤다.
