과학기술정보통신부(과기정통부)는 2026년 11월 11일 오전 10시 수원 한국나노기술원에서 「삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 모아팹 중고장비 이전식」을 열었다. 행사에는 구혁채 과기정통부 제1차관, 지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장), 변대석 한국나노기술원 원장 등 관계자 30여 명이 참석했다.
이번 행사는 과기정통부와 반도체 주요 3사(삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍)가 2025년 3월 체결한 업무협약(MOU)의 후속 조치다.
삼성전자 DS부문 상생협력센터는 나노종합기술원과 나노융합기술원에 이어 한국나노기술원에서 2026년 6~10월 4개월간 민간기업의 반도체 팹 운영·관리 노하우를 전하는 컨설팅을 수행했다.
이번 컨설팅은 삼성전자가 반도체 소재·부품·장비(소부장) 협력사를 대상으로 추진해 온 ‘소부장 눈높이 컨설팅’을 공공나노팹의 특성에 맞춰 진행한 것이다. 한국나노기술원의 팹 운영·관리 방법을 장비별 표준작업절차서(SOP), 점검표, 교육·운영 기준에 반영했다.
삼성전자는 컨설팅 결과를 토대로 양산 수준 민간기업에서만 활용하던 ‘현장점검 매뉴얼’을 공공나노팹에 맞춰 개발해 처음 적용했다. 매뉴얼에는 기관이 팹 안전과 설비 상태를 상시 점검할 수 있도록 표준 절차를 담았다.
중고장비 이전은 과기정통부의 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’에 따라 진행됐다.
이 사업은 기업의 유휴장비를 공공나노팹으로 이전하고 이전·구축비를 지원한다. 삼성전자의 유휴장비인 자동 패턴 박막 측정 장비가 한국나노기술원으로 이전됐다.
이 장비는 8인치 반도체 웨이퍼의 단층·다층 박막 두께와 광학상수를 웨이퍼를 손상시키지 않는 비파괴 방식으로 정밀 측정해 공정 모니터링을 지원한다. 기대효과로는 8인치 자동 박막 계측 역량을 새로 확보하는 점이 제시됐다.
한국나노기술원은 이전받은 장비를 기업과 대학·연구소의 연구개발 및 기술지원에 활용하고, 기존 팹 서비스와 전문인력 양성 프로그램에 연계해 운영할 계획이다.
과기정통부는 모아팹 참여 전체 기관에 컨설팅 결과와 현장점검 매뉴얼 등 우수사례를 공유하고, 한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체기술센터, 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·반도체연구소 등으로 컨설팅 모델을 순차적으로 확대할 계획이다.
